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描述：GSZ-RTS-4型數(shù)字式四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設備。該儀器按照單晶硅物理測試方法家標準并參考美 A.S.T.M 標準而的，用于測試半導體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的用儀器。
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2024-04-15訪問量
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詳細介紹
| 品牌 | 恒奧德 |
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四探針測試儀/四探針電阻率測試儀/四探針檢測儀/單測四探針檢測儀（接電腦） 型號：GSZ-RTS-4（SDY-4替代）
GSZ-RTS-4型數(shù)字式四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設備。該儀器按照單晶硅物理測試方法家標準并參考美 A.S.T.M 標準而的，用于測試半導體材料電阻率及方塊電阻（薄層電阻）的用儀器。
儀器由主機、測試臺、四探針探頭、計算機等分組成，測量數(shù)據(jù)既可由主機直接顯示，亦可由計算機控制測試采集測試數(shù)據(jù)到計算機中加以分析，然后以表格，圖形方式統(tǒng)計分析顯示測試結(jié)果。
儀器采用了電子行、裝配。具有能選擇直觀、測量取數(shù)快、度、測量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等點。
本儀器適用于半導體材料廠、半導體器件廠、科研單位、等院校對半導體材料的電阻性能測試。
GSZ-RTS-4型四探針軟件測試系統(tǒng)是個運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶程序，通過此測試程序輔助使用戶簡便地行各項測試及獲得測試數(shù)據(jù)并對測試數(shù)據(jù)行統(tǒng)計分析。
測試程序控制四探針測試儀行測量并采集測試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計算機中加以分析，然后把測試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中，讓用戶對數(shù)據(jù)行各種數(shù)據(jù)分析
參數(shù)：
| 測量范圍 | 電阻率：0.001～200Ω.cm（可擴展）； 方塊電阻：0.01～2000Ω/□（可擴展）； 電導率：0.005～1000 s/cm； 電阻：0.001～200Ω.cm； |
| 可測晶片直徑 | 140mmX150mm（配S-2A型測試臺）； 200mmX200mm（配S-2B型測試臺）； 400mmX500mm（配S-2C型測試臺）； |
| 恒源 | 電量程分為0.1mA、1mA、10mA、100mA四檔，各檔電連續(xù)可調(diào) |
| 數(shù)字電壓表 | 量程及表示形式：000.00～199.99mV； 分辨力：10μV； 輸入阻抗：>1000MΩ； 度：±0.1% ； 顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；性、量程自動顯示； |
| 四探針探頭基本標 | 間距：1±0.01mm； 針間緣電阻：≥1000MΩ； 機械游移率：≤0.3%； 探針：碳化鎢或速鋼Ф0.5mm； 探針壓力：5～16 牛頓（總力）； |
| 四探針探頭應用參數(shù) | （見探頭附帶的合格證） |
| 模擬電阻測量相對誤差 （ 按JJG508-87行） | 0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字 |
| 整機測量zui大相對誤差 | （用硅標樣片：0.01-180Ω.cm測試）≤±5% |
| 整機測量標準不確定度 | ≤5% |
| 計算機通訊接口 | 并口 |
| 標準使用環(huán)境 | 溫度：23±2℃； 相對濕度：≤65%； 無頻干擾； 無強光直射； |
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