微波光電導(dǎo)載子復(fù)合壽命測試儀/少子壽命測試儀　型號：HAD-100A

HAD-100A型微波光電導(dǎo)載子復(fù)合壽命測試儀是參照半導(dǎo)體設(shè)備和材料際組織SEMI標(biāo)準(zhǔn)MF1535-0707及家標(biāo)準(zhǔn)GB/T 26068-2010制。并且我單位是微波反射法家標(biāo)準(zhǔn)起草單位之。本設(shè)備采用微波反射無接觸光電導(dǎo)衰退測量方法，適用于厚度為1mm以下的硅片、電池片少數(shù)載子壽命的測量，提供無接觸、無損傷、數(shù)字顯示的快速測量。壽命測量可靈敏地反映半導(dǎo)體重金屬污染及缺陷存在的情況，是半導(dǎo)體質(zhì)量的重要檢測項(xiàng)目。

      壽命測量范圍：0.25μs-10ms；樣品電阻率下限>0.5Ω·cm。

      讀數(shù)方式：數(shù)字直讀。